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1、大气中的各种气体对镀膜来说是属于杂质气体，如果不抽真空在镀膜过程中会和膜材料发生反应影响膜材料的纯度，进而影响膜材料的各种理化性能；
2、如果不抽真空，会导致分子自由程过短，对蒸发镀而言，会影响膜材料到达基片的能量，造成附着力低；对溅射镀而言，会影响起电离效果和离子的溅射能量进而影响膜材料到达基片的能量和工艺电流电压。
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