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阴极,大多数为纯金属或合金,对于一些贵金属,则将其制成薄片衬在支持电极上。阴极在中间为空桶形状,空心阴极灯因此得名。阳极,为一焊有钽片或钛丝的钨棒,因为钽片或钛丝具有吸气作用,在高温下可以吸收少量有害气体(如H2)。屏蔽层,为防止阴阳极的击穿,在阴阳极间设有屏蔽层。