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三坐标测量机的精确度为1立方米测量面积，精度达到0.3微米。
选择三坐标测量机的精度时要考虑以下几个因素。
1、测量需求方面考虑，要求测量机的精度不能大于被测产品公差要求的三分之一，这是最低限的要求。
2、投入成本方面的考虑，企业生产，都是以盈利为目的，因此资金投入的时候要考虑性价比问题。
3、设备精度情况，行业中较通用的中小型三坐标测量机精度一般都标示为2微米。
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