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影响扩散的因素有：
1、温度升高，扩散原子获得能量超越势垒几率增大，且空位浓度增大，有利扩散。
2、原子结合键越弱，Q越小，D越大。
3、在间隙固溶体中，扩散激活能较小，原子扩散较快，在置换固溶体中扩散激活能比间隙扩散大得多。
4、晶体的致密度越高，原子扩散时的路径越窄，产生的晶格畸变越大，同时原子结合能也越大，使得扩散激活能越大，扩散系数减小。
5、晶粒尺寸越小，金属的晶界面积越多，晶界扩散对扩散系数的贡献就越大。
6、晶体中的位错对扩散也有促进作用。
7、化学成分影响：若增加浓度能使原子的Q减小，而D0增加，则D增大。
